X線顕微鏡

3D CT Ｘ線顕微鏡

リガクの nano3DXは、高解像度の3Dコンピュータ断層撮影（CT）画像を比較的大きなサンプルから得ることができる真のＸ線顕微鏡（XRM）です。 これは、高出力回転対陰極Ｘ線源および高解像度CCD検出器の採用によって実現しました。 回転対陰極型線源により、迅速なデータ取得と、ターゲット材料（波長）を容易に切り替えて特定のサンプルタイプのコントラストを最適化することが可能です。

Ｘ線顕微鏡技術とは

トモグラフィーは、対象物を薄い切片にスライスすることによって、その対象物の3次元構造を調べる技術です。 マイクロトモグラフィーはスライスが非常に薄いこと、特に 光学顕微鏡で見ることができるほど薄いことを意味します。従来のトモグラフィーは面倒で時間がかかる作業でした。また時間を要することでサンプルに重大な変化をもたらす危険もあります。 Ｘ線断層撮影法では、試料全体が複数の回転角度で撮像されます。 この多数の画像はコンピュータアルゴリズムによって処理され、任意の方向にスライスすることができる三次元データを再構成することで、対象物内部の特徴についての新しい知見をもたらします。 Ｘ線顕微鏡は、このような視覚化を1マイクロメートル（1μm）以内の分解能で行います。

新しいnano3DXを使用すると、CFRPのような吸収コントラストが低いサンプルや、セラミック複合材料のような密度の高いサンプルなど、さまざまなサンプルを見ることができます。 nano3DXは、Ｘ線の波長を変更してコントラストや透過度を高めることができる機能により、その性能を実現しています。