チタン酸バリウム（BaTiO3）は代表的な強誘電体であり、コンデンサー材料や、焦電体、圧電体などの電子部品材料として用いられています。チタン酸バリウムは、常温では主に正方晶系および立方晶系として存在します。これらの結晶多形の質量分率と正方晶比（c/a比）を明らかにすることは、チタン酸バリウムの誘電率を管理するうえで重要です。結晶多形の質量分率と格子定数は、回折パターンの違いに基づいて評価できるため、Rietveld解析を用いることで、簡便に求めることが可能です。本測定例では、高分解能・高速1次元検出器を搭載した小型X線回折装置を用いて測定を行い、Rietveld解析によるチタン酸バリウムの結晶多形の質量分率と格子定数を評価しました。