インプレーン回折法による次世代磁気記録媒体（FePt）の評価

次世代の超高密度磁気記録媒体として、金属微粒子を薄膜中に分散させたグラニュラー膜が注目されています。中でもFePtの規則相（正方晶）は、磁気異方性が特に高く、耐食性・耐酸化性に富むことから、実デバイスへの応用が期待されています。しかし、製膜条件によっては特性の劣る不規則相（立方晶）が同時に生成するため、ナノ粒子・薄膜の状態でこれらを判別する技術が必要です。薄膜試料の表面すれすれにＸ線を照射し、表面面内方向の規則構造（結晶構造）を調べるインプレーン回折法を用いれば、厚さわずか数nmという極薄膜でも結晶相の同定が可能です。また試料表面へのＸ線の入射角度を変えることで、深さ方向に解析を行うこともできます。