AppNote B-XRD2006: インプレーン逆格子マップ法による ZnO 薄膜の方位評価

ZnOは透明導電膜の新しい材料として注目を集めており、フラットパネルディスプレイや白色LEDへの応用が期待されています。薄膜状態の材料評価では、基板と膜の結晶方位の関係を知ることが重要です。X線回折装置でインプレーン逆格子マップを用いると、試料面内方向の結晶方位の評価を行うことが可能です。

リガクのＸ線回折装置(XRD)

全自動多目的Ｘ線回折装置 SmartLab

装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現。

全自動多目的Ｘ線回折装置 SmartLab SE

リガクの分析ノウハウを凝縮した「ガイダンス」機能を搭載。

小型X線回折装置 MiniFlex XpC

材料品質管理に最適な小型X線回折装置

デスクトップＸ線回折装置 MiniFlex

卓上タイプの高性能多目的粉末回折分析装置。

X線分析統合ソフトウェア SmartLab Studio II

測定から解析まで、X線分析のすべてをこなす統合ソフトウェア

Ｘ線回折装置によるインプレーン逆格子マップによるエピタキシャル膜および極薄バッファー層の結晶方位評価