AppNote B-XRD2020: 2 次元検出器を用いた固体酸化物型 燃料電池材料の結晶相・配向状態評価
2 次元検出器を用いた固体酸化物型燃料電池材料の結晶相・配向状態評価
基板上に製膜された薄膜は、製法・材料によって様々な結晶状態・配向性を示し、通常のX線回折測定では結晶相の同定が困難なことがあります。2次元検出器を用いた回折像では2θ方向の回折強度分布とχ方向の結晶方位の分布が一度に観測されるため、結晶相ごとの格子定数や配向状態の差異を容易に把握することができます。