AppNote B-XRD2021: 高速1次元Ｘ線検出器による逆格子マップ測定～SiGe薄膜の格子歪み量（緩和率）の評価～
高速1次元Ｘ線検出器による逆格子マップ測定～SiGe薄膜の格子歪み量（緩和率）の評価～
SiGe（シリコンゲルマニウム）を応用したトランジスターは、消費電力が小さく、高速で動作します。SiGeは、SiにGeを固溶させたもので、Siよりも移動度が高く、格子歪み量が大きいほど大幅な移動度の増大が期待できます。この格子歪み量（緩和率）や結晶性の状態を評価する方法として、X線逆格子マップ測定がありますが、1次元検出器を用いることで、迅速に評価することができます。
