Skip to main content

高速1次元X線検出器による逆格子マップ測定~SiGe薄膜の格子歪み量(緩和率)の評価~

AppNote XRD2021: 高速1次元X線検出器による逆格子マップ測定~SiGe薄膜の格子歪み量(緩和率)の評価~

 

SiGe(シリコンゲルマニウム)を応用したトランジスターは、消費電力が小さく、高速で動作します。SiGeは、SiにGeを固溶させたもので、Siよりも移動度が高く、格子歪み量が大きいほど大幅な移動度の増大が期待できます。この格子歪み量(緩和率)や結晶性の状態を評価する方法として、X線逆格子マップ測定がありますが、1次元検出器を用いることで、迅速に評価することができます。

リガクのX線回折装置(XRD)

全自動多目的X線回折装置 SmartLab

装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現。

全自動多目的X線回折装置 SmartLab SE

リガクの分析ノウハウを凝縮した「ガイダンス」機能を搭載。

デスクトップX線回折装置 MiniFlex

卓上タイプの高性能多目的粉末回折分析装置。

試料水平型多目的X線回折装置 Ultima IV

あらゆる用途のための高性能、多目的XRDシステム。