AppNote B-XRD2023:X線回折装置による 2 次元検出器を用いた微小角入射広角 X 線 散乱法による有機薄膜の結晶相同定
2次元検出器を用いた微小角入射広角X線散乱法による有機薄膜の結晶相同定
微小角入射広角X線散乱測定(Grazing Incidence Wide Angle X-ray Scattering、以下GI-WAXSと略す)は、試料表面に広く浅くX線を照射し、膜厚の薄い薄膜試料からの回折X線を効率的に検出する手法です。Apertureスリットを搭載したアタッチメントと2次元検出器を組み合わせると、ライン光学系の汎用X線回折装置でも、回折線が鮮明に分離した2次元回折像が得られます(図1)。