1次元検出器モードを用いたIII族窒化物薄膜の高速逆格子マップ測定

逆格子マップは、格子面間隔と結晶方位分布を互いに独立に評価する手法であり、エピタキシャル薄膜を中心とした薄膜試料の分析に利用されています。逆格子マップデータは散乱角（2θ）と試料に対する入射角（ω）の組み合わせを変えた複数のスキャンデータで構成されるため、一般に測定に時間を要します。2次元検出器の1D露光モードとω軸の高速スキャンと組み合わせてデータを収集することで、数10秒～数分というごく短時間での逆格子マップ測定が可能です。