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1次元検出器モードを用いたIII族窒化物薄膜の高速逆格子マップ測定

AppNote XRD2024: 1次元検出器モードを用いたIII族窒化物薄膜の高速逆格子マップ測定

 

逆格子マップは、格子面間隔と結晶方位分布を互いに独立に評価する手法であり、エピタキシャル薄膜を中心とした薄膜試料の分析に利用されています。逆格子マップデータは散乱角(2θ)と試料に対する入射角(ω)の組み合わせを変えた複数のスキャンデータで構成されるため、一般に測定に時間を要します。2次元検出器の1D露光モードとω軸の高速スキャンと組み合わせてデータを収集することで、数10秒~数分というごく短時間での逆格子マップ測定が可能です。

リガクのX線回折装置(XRD)

全自動多目的X線回折装置 SmartLab

装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現。

全自動多目的X線回折装置 SmartLab SE

リガクの分析ノウハウを凝縮した「ガイダンス」機能を搭載。

デスクトップX線回折装置 MiniFlex

卓上タイプの高性能多目的粉末回折分析装置。

試料水平型多目的X線回折装置 Ultima IV

あらゆる用途のための高性能、多目的XRDシステム。