AppNote B-XRD2025: 広域逆格子マップによる 1 軸配向膜の評価
広域逆格子マップによる 1 軸配向膜の評価
逆格子マップは、エピタキシャル薄膜を中心とした薄膜試料の格子面間隔や結晶方位分布の評価に利用されています。2次元検出器のTDI (time delay integration)スキャンを利用した逆格子マップ測定では、広範囲にわたる逆格子マップを短時間で得ることができます。SmartLab Studio IIでは1軸配向の逆格子シミュレーション機能が追加され、配向膜の評価も容易に行うことができます。