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X線回折装置による 1 軸配向膜の評価

AppNote B-XRD2025: 広域逆格子マップによる 1 軸配向膜の評価

 

広域逆格子マップによる 1 軸配向膜の評価

逆格子マップは、エピタキシャル薄膜を中心とした薄膜試料の格子面間隔や結晶方位分布の評価に利用されています。2次元検出器のTDI (time delay integration)スキャンを利用した逆格子マップ測定では、広範囲にわたる逆格子マップを短時間で得ることができます。SmartLab Studio IIでは1軸配向の逆格子シミュレーション機能が追加され、配向膜の評価も容易に行うことができます。

リガクのX線回折装置(XRD)

全自動多目的X線回折装置 SmartLab

装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現。

全自動多目的X線回折装置 SmartLab SE

リガクの分析ノウハウを凝縮した「ガイダンス」機能を搭載。

小型X線回折装置 MiniFlex XpC

材料品質管理に最適な小型X線回折装置

デスクトップX線回折装置 MiniFlex

卓上タイプの高性能多目的粉末回折分析装置。

X線分析統合ソフトウェア SmartLab Studio II

測定から解析まで、X線分析のすべてをこなす統合ソフトウェア