インプレーン軸を使用した極点測定によるシリサイド薄膜の特殊な繊維配向状態の解析

結晶性薄膜の配向状態は、材料の電気・磁気・機械的性質や発光特性などを決定する要素の一つです。一般的な配向状態の様式としては、繊維配向状態やエピタキシャル成長状態が知られています。薄膜材料では、基板の結晶方位や表面処理、成膜方法などによって、配向軸が試料表面法線に対して特定の角度で傾いた、より複雑な配向状態を示すことがあります。ゴニオメーターに搭載したインプレーン軸を使用する極点測定法（インプレーン極点）では、反射法による全極点測定が可能で、膜厚の小さい薄膜の回折信号も得られやすいという特長があり、特殊な配向状態を持つ薄膜材料の評価に有効です。