Skip to main content

X線反射率法による金属薄膜の膜厚の面内均一性評価

AppNote XRD2030: X線反射率法による金属薄膜の膜厚の面内均一性評価

 

薄膜材料で構成される各種デバイスの特性は薄膜の膜厚や緻密性の影響を受けるため、それら評価は大変重要です。X線反射率法は単層・多層にかかわらず、ナノスケールオーダーの膜薄の膜厚、密度、表面/界面ラフネスを非破壊で分析する手法です。結晶質・非晶質を問わず評価することができ、可視光に不透明な膜にも適用することが可能です。

リガクのX線回折装置(XRD)

全自動多目的X線回折装置 SmartLab

装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現。

全自動多目的X線回折装置 SmartLab SE

リガクの分析ノウハウを凝縮した「ガイダンス」機能を搭載。

デスクトップX線回折装置 MiniFlex

卓上タイプの高性能多目的粉末回折分析装置。

試料水平型多目的X線回折装置 Ultima IV

あらゆる用途のための高性能、多目的XRDシステム。