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ロッキングカーブによる単結晶基板の反り評価

AppNote XRD2031: ロッキングカーブによる単結晶基板の反り評価

 

単結晶基板上に薄膜を成膜すると、薄膜材料と基板の熱膨張率の差により、成膜温度から冷却する際に反りが生じることがあります。この反りはデバイス製造プロセスや最終製品の特性に影響する恐れがあるため、反りの程度の定量的評価が求められています。単結晶基板に反りが生じると、試料上の位置によって結晶格子面の向きが変化し、X線回折の起こる入射角度ωが変化します(図1)。この変化量を測定することで、単結晶基板の曲率半径を求めることができます。

リガクのX線回折装置(XRD)

全自動多目的X線回折装置 SmartLab

装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現。

全自動多目的X線回折装置 SmartLab SE

リガクの分析ノウハウを凝縮した「ガイダンス」機能を搭載。

デスクトップX線回折装置 MiniFlex

卓上タイプの高性能多目的粉末回折分析装置。

試料水平型多目的X線回折装置 Ultima IV

あらゆる用途のための高性能、多目的XRDシステム。