AppNote B-XRD2035: III-V 族窒化物薄膜のチルト幅・ツイスト幅の試料面内分布評価

III-V 族窒化物薄膜のチルト幅・ツイスト幅の試料面内分布評価

深紫外線LEDは、水銀ランプに代わる環境負荷の少ない紫外線源として普及が望まれています。近年はその殺菌機能が特に注目を集めており、早期の実用化が期待されています。発光効率向上と長寿命化には、AlGaN発光層のベースとなるAlN層の高品質化が求められます。本測定例では、製品化・量産化の段階で重要となるAlN層のチルト幅・ツイスト幅の試料面内分布を評価しました。