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III-V 族窒化物薄膜のチルト幅・ツイスト幅の 試料面内分布評価

AppNote B-XRD2035: III-V 族窒化物薄膜のチルト幅・ツイスト幅の 試料面内分布評価

 

III-V 族窒化物薄膜のチルト幅・ツイスト幅の 試料面内分布評価

深紫外線LEDは、水銀ランプに代わる環境負荷の少ない紫外線源として普及が望まれています。近年はその殺菌機能が特に注目を集めており、早期の実用化が期待されています。発光効率向上と長寿命化には、AlGaN発光層のベースとなるAlN層の高品質化が求められます。本測定例では、製品化・量産化の段階で重要となるAlN層のチルト幅・ツイスト幅の試料面内分布を評価しました。

リガクのX線回折装置(XRD)

全自動多目的X線回折装置 SmartLab

装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現。

全自動多目的X線回折装置 SmartLab SE

リガクの分析ノウハウを凝縮した「ガイダンス」機能を搭載。

小型X線回折装置 MiniFlex XpC

材料品質管理に最適な小型X線回折装置

デスクトップX線回折装置 MiniFlex

卓上タイプの高性能多目的粉末回折分析装置。

試料水平型多目的X線回折装置 Ultima IV

あらゆる用途のための高性能、多目的XRDシステム。

X線分析統合ソフトウェア SmartLab Studio II

測定から解析まで、X線分析のすべてをこなす統合ソフトウェア