AppNote B-XRF3003: 卓上型全反射蛍光X 線分析装置 NANOHUNTER II -入射角度変更による表面分析-
全反射蛍光X線分析法（TXRF）は、試料すれすれに入射したX線により表面近傍元素を効率良く励起でき、かつバックグラウンドの原因となる散乱X線がほとんど発生しない測定手法です（図1）。さらに入射X線角度を高めに変更することで、励起深さを変えることが可能となり、情報深さの異なる測定ができます。
全反射蛍光X線分析法（TXRF）は、試料すれすれに入射したX線により表面近傍元素を効率良く励起でき、かつバックグラウンドの原因となる散乱X線がほとんど発生しない測定手法です（図1）。さらに入射X線角度を高めに変更することで、励起深さを変えることが可能となり、情報深さの異なる測定ができます。
