Skip to main content

卓上型全反射蛍光X 線分析装置 NANOHUNTER II  -極微量粉末の直接分析-

AppNote B-XRF3005: 卓上型全反射蛍光X 線分析装置 NANOHUNTER II  -極微量粉末の直接分析-

 

全反射蛍光X線分析法(TXRF)は、試料すれすれに入射したX線により表面近傍元素を効率良く励起でき、かつバックグラウンドの原因となる散乱X線がほとんど発生しない測定手法です(図1)。ガラス基板等の試料は水平に保持されるため、接着剤無しで粉末試料等を乗せて測定することが可能です。

リガクのTXRF製品

卓上型全反射蛍光X線分析装置 NANOHUNTER II

液体の高感度超微量元素分析を可能にします。 

全反射蛍光X線分析装置 TXRF 3760

~200mmウェーハのNa~Uまでの汚染元素を極微量で分析。

全反射蛍光X線分析装置 TXRF-V310

遷移金属で106atoms/cm2 レベルの検出下限。

全反射蛍光X線分析装置 TXRF 310 Fab

TXRF分析は、すべての製造工程における汚染を測定。