AppNote B-XRF3008: 卓上型全反射蛍光X 線分析装置 NANOHUNTER II -ガラス表面に残留する研磨材の定性分析-
全反射蛍光X線分析法(TXRF)は、試料すれすれに入射したX線により表面近傍元素を効率良く励起でき、かつバックグラウンドの原因となる散乱X線がほとんど発生しない測定手法です(図1)。その特長を活かして、表面が平滑なガラス等の基板上に存在する微量元素を高感度で分析することが可能です。
全反射蛍光X線分析法(TXRF)は、試料すれすれに入射したX線により表面近傍元素を効率良く励起でき、かつバックグラウンドの原因となる散乱X線がほとんど発生しない測定手法です(図1)。その特長を活かして、表面が平滑なガラス等の基板上に存在する微量元素を高感度で分析することが可能です。