工場や事業所からの排水には、Cd、As、Pbなどの有害金属元素について、排水基準が定められています。廃水に含まれる様々な有機物や無機塩は微量元素分析の妨害となるため、誘導結合プラズマ発光分析法（ICP-OES法）などでは、酸分解や脱塩などの試料調製が必要となります。これに対して、全反射蛍光X線分析法（TXRF法）はICP-OES法などと比べ、マトリックスの影響を受けにくい測定が可能です。ここでは、TXRF法による廃水標準物質中の微量有害元素の分析例をご紹介します。