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卓上型TXRF 装置 NANOHUNTER II  -環境水中の微量元素分析-

AppNote B-XRF3027: 卓上型TXRF 装置 NANOHUNTER II  -環境水中の微量元素分析-

 

全反射蛍光X線分析法(TXRF法)は、液体試料を基板に滴下・乾燥するだけで測定することができます。また内標準法を用いることにより検量線を作成することなく、多元素同時定量分析が可能です。液体試料の代表的な元素分析法である原子吸光光度分析法(AAS法)、誘導結合プラズマ発光分析法(ICP-OES法)および質量分析法(ICP-MS法)と比較し、簡便で迅速な分析が可能です。ここでは、TXRF法による環境水中に含まれる微量元素の分析例をご紹介します。

リガクのTXRF製品

卓上型全反射蛍光X線分析装置 NANOHUNTER II

液体の高感度超微量元素分析を可能にします。 

全反射蛍光X線分析装置 TXRF 3760

~200mmウェーハのNa~Uまでの汚染元素を極微量で分析。

全反射蛍光X線分析装置 TXRF-V310

遷移金属で106atoms/cm2 レベルの検出下限。

全反射蛍光X線分析装置 TXRF 310 Fab

TXRF分析は、すべての製造工程における汚染を測定。