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結晶方位

Crystal orientation

X線回折(XRD)による結晶方位決定

単結晶は幅広い分野の技術製品の基盤となるものです。単結晶の電気特性は半導体産業にとって非常に重要であり、磁気特性は磁気記憶装置の性能と深く関係します。機械的・化学的特性は物質科学の進歩の基礎をなしています。多くの場合、単結晶の特性は、結晶の種類や質だけでなく、その方位に強く依存します。そのため、単結晶を工業的に利用するためには、結晶方位の決定が不可欠です。結晶方位を決定する方法としては、X線回折が一般的な方法となっています。

リガクの関連装置


X線回折装置(XRD)

全自動多目的X線回折装置 SmartLab

装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現。

全自動多目的X線回折装置 SmartLab SE

リガクの分析ノウハウを凝縮した「ガイダンス」機能を搭載。

試料水平型多目的X線回折装置 Ultima IV

あらゆる用途のための高性能、多目的XRDシステム。

水晶・単結晶方位測定

自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II

ウェーハの主面の切断角度、OF・ノッチ位置を自動で測定する装置

自動X線単結晶方位測定装置 FSAS III

単結晶材料の切り出し方位を、ワイヤソーその他の切断機に正確に伝えます

X線水晶・単結晶方位測定装置 2991F2/2991G2

それぞれの目的に合った特性とするため、結晶軸に対する切断方向の結晶方位を測定

検出器

ハイブリッド型多次元ピクセル検出器 HyPix-3000

粉末の高速測定から薄膜の2次元測定まで対応。

アプリケーション・ノート

関連するアプリケーションノートをご紹介します


XRD

X線回折装置(XRD)