X線トポグラフ測定におけるスループットの劇的な向上

スループットを向上させた（10–20 枚/hour, 3–6 分/1 枚）ウェーハ欠陥評価用途の高速X線トポグラフシステムをリガクは市場に投入した．発散ビームとハイブリッドピクセル検出器HyPix-3000HEの組み合わせで画像取得の高速化を実現したことにより，スループットが劇的に高いX線トポグラフ検査ツールを構築することが可能となった．本テクニカルノートでは，測定の高速化に寄与した2 大要素，撮像準備工程の省略と撮像プロセスそのものの短縮について解説し，ウェーハの品質管理への利用を視野に入れた応用事例を紹介する．