Skip to main content

半導体・電子材料・電子部品

半導体関連装置

膜厚/組成およびウェーハ汚染評価ツール

リガクは、半導体製造上の課題を解決するためのX線分析機器を設計、製造して、35年以上の実績を持つグローバル市場のリーダーです。リガクの分析機器は、インファブプロセス制御の計測や薄膜および材料の特性評価が可能です。最先端材料の研究開発に利用頂いています。歩留まり向上とプロセス開発には、汚染測定用のプロセス全反射蛍光X線(TXRF)、気相分解-全反射蛍光X線(VPD-TXRF)機器及び24時間年中無休のサービスを提供しています。

X線回折(XRD)、蛍光X線(XRF)、X線反射率法(XRR)、およびX線トポグラフィー(XRT)などの分析手法は、薄膜の重要なプロセスパラメーターである厚さ、組性、ラフネス、密度、多孔性、および結晶構造と結晶構造の欠陥を測定することが可能です。リガクのX線分析装置は電子材料、電子部品などの先端材料の開発や評価には必須の分析機器となっています。

アプリケーション・ノート

関連するアプリケーションノートをご紹介します


熱分析装置

X線回折装置(XRD), X線トポグラフ装置

X線回折装置(XRD)

工業用X線イメージング装置

発生ガス分析装置, 熱分析装置

リガクの関連装置


X線回折装置(XRD)

全自動多目的X線回折装置 SmartLab

装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現。

全自動多目的X線回折装置 SmartLab SE

リガクの分析ノウハウを凝縮した「ガイダンス」機能を搭載。

検出器

ハイブリッドピクセル2次元検出器

単結晶X線回折用の大面積ハイブリッド光子計数検出器

ハイブリッドピクセル2次元検出器

粉末の高速測定から薄膜の2次元測定まで対応。

単結晶X線構造解析用HPCX線検出器 HyPix-Bantam

XtaLAB Synergy-i および XtaLAB mini II 用HPC 検出器

湾曲HPC X線検出器 HyPix-Arc 150°

同じ条件で高角度から 低角度までを一度に測定。

X線トポグラフ装置

ハイスループット&高分解能X線トポグラフイメージングシステム XRTmicron

転位などの結晶欠陥、表面への貫通転位やエピタキシャル層の欠陥などを検出

半導体関連装置

薄膜評価用蛍光X線分析装置 WaferX 310

300mm、200mmウェーハ上の膜厚・組成を、同時に分析。

薄膜評価用蛍光X線分析装置 WDA-3650

薄膜の膜厚と組成を、同時に、非破壊、非接触で分析。

薄膜評価用蛍光X線分析装置 AZX 400

波長分散型蛍光X線分析(WDX)装置の最上位モデル。

インラインX線膜厚・密度モニター MFM 310

パターンウェーハ対応のインライン膜厚・密度モニター。

全反射蛍光X線分析装置 TXRF 3760

~200mmウェーハのNa~Uまでの汚染元素を極微量で分析。

全反射蛍光X線分析装置 TXRF 310 Fab

TXRF分析は、すべての製造工程における汚染を測定。

全反射蛍光X線分析装置 TXRF-V310

遷移金属で106atoms/cm2 レベルの検出下限。

ハイブリッドXRFおよび光計測FABツール

300mm、200mmウェーハ上の各種薄膜の膜厚・組成を、同時に非破壊、非接触で分析可能なエネルギー分散型蛍光X線分析装置(ED-XRF)

X線膜厚・密度測定装置 XHEMIS EX-2000

蛍光X線(XRF)およびX線反射率(XRR)による非接触、非破壊な膜厚・密度測定装置。標準試料なしで膜厚測定が可能

熱分析装置

示差熱-熱重量同時測定装置

重量変化と吸熱・発熱反応の測定ができる熱分析装置です。

 

熱機械分析装置 

荷重による物質の変形を温度の関数として測定する熱分析装置です。

 

示差走査熱量計
材料の融点などの反応温度や反応エネルギーを簡単に測定できる熱分析装置です。

横型膨張計

試料内に発生する熱膨張・収縮の変化量を再現性良く検出する熱分析装置です。

水蒸気雰囲気示差熱天秤

水蒸気雰囲気で容易にTG-DTA測定が可能な熱分析装置。

 

示差熱天秤-フーリエ変換赤外分光分析測定システム

示差走査熱量計

微小なピークも見逃さない低ノイズも実現した熱分析装置です。

示差熱-熱重量同時測定装置

試料観察機能付き差動型示差熱天秤

 

試料観察示差走査熱量計
熱分析を実行しながら視覚的に試料変化を観察可能な熱分析装置です。

高温DSC
1500℃までの高温測定

熱伝導率測定装置
粉末・ゲル・液体・固体試料の熱伝導率が簡単に測定できる熱分析装置です。

示差走査熱量計

業界初の自己診断機能搭載
業界最高温度範囲の
DSC測定

発生ガス分析装置

示差熱天秤-光イオン化質量分析測定装置

発生ガスを高精度に質量分析。分子を壊さずにそのまま計測できる熱分析装置です。

示差熱天秤-ガスクロマトグラフィ質量分析測定システム

熱分析だけでは判断が困難な化学反応情報を、同時に高感度測定できる熱分析装置です。

試料観察型示差熱天秤-ガスクロマトグラフィ質量分析測定システム

試料観察をしながらTG-GCMS測定

工業用X線イメージング装置

工業用デスクトップ3DマイクロX線CT
CT Lab HX

デスクトップ型省エネルギーで高速・広視野・高解像度を実現

ソフトウェア製品

X線分析統合ソフトウェア SmartLab Studio II

測定から解析まで、X線分析のすべてをこなす統合ソフトウェア

熱分析用ソフトウェア
測定・解析ソフトウェア