化合物半導体などで用いられている単結晶基板の評価方法としてX線トポグラフィを中心にご紹介します。
講義:15:00~15:30
質疑応答:15:30~15:45
Presenter
小林 信太郎(株式会社リガク X線機器事業部 応用技術センター)
Date/time (JST)
化合物半導体などで用いられている単結晶基板の評価方法としてX線トポグラフィを中心にご紹介します。
講義:15:00~15:30
質疑応答:15:30~15:45