2020年5月7日
株式会社リガク
論文掲載：Applied Physics Express
発表先：Applied Physics Express, vol.13, (2020) 065502-1 - 065502-5
公開日：2020/05/04
論文タイトル： Evolution of implicate order from amorphous to polycrystalline Sn-doped In2O3 films determined by in situ two-dimensional X-ray diffraction measurements
要旨： ガラス基板上に成膜された厚さ50nmの非晶質ITO透明導電膜について、SmartLab＋HyPix-3000を用いて加熱in-situ測定を行い、その固相結晶化ダイナミクスを追跡し、秩序組織形成過程について議論しています。
https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1882-0786/ab8b6b
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