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TPD type V
  • 熱分析で実績のある温度制御技術により正確な温度計測を達成しています。
  • コンパクトな赤外線加熱炉の採用により、高速クリーン加熱が可能になりました。
  • 脱離スペクトルの温度精度や分解能が向上しました。
  • 透明体サンプルや粉体サンプルもそのまま測定が可能です。
  • ガス化成分をMSイオン源に集中させるシステムを構築しました。(特許)
  • 装置を小型化し設置スペースを大幅に小さくしました。
  • 温度範囲:室温~1200℃、マスレンジ:1~200amu(オプション 1~410amu)、測定モード:TIC,SIM(最大16ch同時モニター),試料サイズ:Max 20W×20D×2T (mm)

昇温脱離ガス分析装置

微量ガスの脱離挙動を、正確な温度で高感度分析

超高真空下での微量な放出ガスの分析に用いられます。半導体関連やセラミックス材料などから放出されガスを高感度に分析できます。

高真空下に置かれた試料を一定速度で加熱させながら、脱離していく化学種による圧力や脱離化学種の量変化を、質量分析計による脱離ガス分析システムです。固体表面の吸着種を同定したり、吸着量や吸着状態、表面からの脱離過程など詳細な情報が得られます。半導体関連ならびに電子材料やセラミックスなどからの微量ガスの脱離挙動を、正確な温度で高感度分析できます。 ​

ソフトウェア

一目で脱ガス挙動が観測可能

3次元マトリックスデータ表示を、あらゆる角度から自由に操作(360°回転)でき、一目で広い温度範囲での脱ガス挙動が観測できます。

マウスで簡単操作

マウスのカーソル操作で、任意温度のマススペクトルや任意質量数のイオンクロマトグラムの2次元データを選択、抽出することができます。

熱分析データとMSデータの多重表示

熱分析データ(TG-DTA)とイオンクロマトグラムの多重表示が、質量数イオンをマウスで直接「ドラッグ&ドロップ」操作するだけで簡単に行えます。

スナップショット機能

3次元データを表示、操作するだけでなく、任意角度、任意温度から選択、抽出されたマススペクトルやイオンクロマトグラムをビットマップイメージで収納、管理できる「スナップショット機能」を設けました。

マススペクトルの自動定性分析

任意温度で選択されたマススペクトルは、そのままNIST-MSライブラリ検索ソフトウェア(オプション)にリンクして、自動的に定性分析が実行できます。

Thermo Plus/発生ガス分析装置シリーズ、同時示差熱天秤-質量分析(Thermo Mass)ならびに昇温脱離ガス分析(TPDシリーズ)の測定データをそのままロード、解析することができます。

3Dソフトウェア
複合熱分析法によって得られるマトリックスデータを見やすく3次元表示し、様々な角度からの2次元データの選択、抽出を可能にします。 データの解析、評価をスピーディに行うことができます。