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水晶・単結晶方位測定装置

自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II

ウェーハの主面の切断角度、OF・ノッチ位置を自動で測定する装置

自動X線単結晶方位測定装置 FSAS III

単結晶材料の切り出し方位を、ワイヤソーその他の切断機に正確に伝えます

X線水晶・単結晶方位測定装置 2991F2/2991G2

それぞれの目的に合った特性とするため、結晶軸に対する切断方向の結晶方位を測定