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FSAS II

ウェーハの主面の切断角度、OF・ノッチ位置を自動で測定する装置です。

自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II

ウェーハの主面の切断角度、OF・ノッチ位置を自動で測定

 

  • 真空チャック方式で試料を保持します。0°,90°,180°,270°の、各面内回転位置ごとに自動スキャニングし、ピーク位置を検出します。ウェーハの切断面を基準に、X方向、Y方向の偏差角を演算し出力します。
  • タッチパネル式PCにより操作します。
  • 自動測定、自動演算のため、人為的な測定誤差をなくすことができます。
  • 2θ設定(測定面):Si(111)、(110)、(100)、(211)、(511)
  • 試料サイズ:径φ200mmまたはφ300mmのOF、またはノッチ付ウェーハ