FSAS II

ウェーハの主面の切断角度、OF・ノッチ位置を自動で測定する装置です。

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自動ウェーハ結晶面方位測定Ｘ線装置 FSAS II

ウェーハの主面の切断角度、OF・ノッチ位置を自動で測定

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水晶・単結晶方位測定

真空チャック方式で試料を保持します。0°,90°,180°,270°の、各面内回転位置ごとに自動スキャニングし、ピーク位置を検出します。ウェーハの切断面を基準に、Ｘ方向、Y方向の偏差角を演算し出力します。
タッチパネル式PCにより操作します。
自動測定、自動演算のため、人為的な測定誤差をなくすことができます。
2θ設定（測定面）：Si（111）、（110）、（100）、（211）、（511）
試料サイズ：径φ200mmまたはφ300mmのOF、またはノッチ付ウェーハ