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インライン対応測定ヘッド

工程管理などのために測定ヘッドを製造ライン内に設置して、処理されたばかりのめっき層の厚さや組成、あるいは皮膜の厚さなどをリアルタイムに測定するもので、測定のために測定対象を加工する必要はありません。

インライン対応測定ヘッド

大型ガラス基板上のコーティング被膜やインライン生産中の測定対象を非破壊計測できる測定ヘッドを提供します。

リガクは1960年代から鋼板やアルミ板上各種コーティングのオンライン・インライン向け付着量計/膜厚計の製造販売を行っています。これまで累計約450台のシステムを納入し、多くのお客様の生産性向上に寄与しています。

特徴

  • 非接触及び非破壊で連続的に測定できます。
  • 測定ヘッドを固定し測定対象を動かす方法と測定対象を固定し測定ヘッドを動かす方法に対応します。
  • エネルギー分散型蛍光X線法を採用し、大気中でAl~Uの測定が可能です。
  • 測定対象によって最適な測定方式、X線管、検出器の組み合わせが可能です。
  • 独自のアルゴリズムを搭載したファンダメンタルパラメータ(FP)法プログラムにより、10層までの多層膜の定量分析を行うことが可能です。

システム概要

システム概要

空冷式50kV励起X線管と高分解能半導体検出器の組合せにより、非破壊・非接触で定量分析を行うことが可能です。測定対象に最適な励起条件と薄膜試料構成モデルにて迅速に膜厚・組成分析を行うことができます。

測定ヘッド固定で測定対象を動かす方法

測定ヘッド固定で測定対象を動かす方法

  • 測定対象が比較的小さい場合、測定ヘッドを固定して測定対象を動かす方式が便利です。
  • 防塵防滴が必要な環境下の場合、一体型測定ヘッド(JIS C 0920 IP54相当)が最適です。

測定対象固定で測定ヘッドを動かす方法

測定対象固定で測定ヘッドを動かす方法

  • 測定対象が大きい場合、測定対象を固定して測定ヘッドを動かす方式があります。
  • 高さ調整を容易にするために軽量化された分離型測定ヘッドが最適です。(別途電装部の近接設置が必要)

諸源・仕様

  分離型 一体型
外形寸法
質量
測定ヘッド部 315(W)×211(D)×310(H) 約15kg
ヘッド制御部 300(W)×150(D)×220(H) 約10kg

一体型ヘッド 480(W)×280(D)×490(H) 約55kg

設置環境 クリーン~一般環境向け 防塵防滴が必要な環境も可(保護等級:JIS C 0920 IP54相当)
周囲温度
湿度
18~28℃(日内変動±2℃以内) 75%RH以下 10~40℃(日内変動±5℃以内) 90%RH以下
所要電源 測定ヘッド:DC24V 10A
PC:AC100V 5A
測定ヘッド:AC100V 3A
PC:AC100V 5A
測定距離 2mm(測定ヘッド面・測定対象間)
制御・データ処理 パーソナルコンピュータ(民生用PCまたはFA-PC)
通信プロトコル TCP/IP(上位システムとEthernet接続)