卓上型全反射蛍光Ｘ線分析装置 NANOHUNTER II
液体の高感度超微量元素分析を可能にします。
全反射蛍光Ｘ線分析装置 TXRF 3760
～200mmウェーハのNa～Uまでの汚染元素を極微量で分析。
全反射蛍光Ｘ線分析装置 TXRF 3800e
5×1010 atoms/cm2 の汚染検出を僅か20分で完了。
全反射蛍光Ｘ線分析装置 TXRF-V310
遷移金属で106atoms/cm2 レベルの検出下限。
全反射蛍光Ｘ線分析装置 TXRF 310 Fab
TXRF分析は、すべての製造工程における汚染を測定。
