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NANOHUNTER II

 

封入X線管を使用した卓上型の全反射蛍光X線分析装置です。全反射蛍光X線分析法の採用により、固体試料表面の元素分析を高感度で行うことができます。卓上型でありながら、全自動光軸調整システムを搭載し、基板によらず安定した分析を行うことができます。
また、入射X線角度を変更できるので、表面近傍のみならず、深さ方向の元素情報を得ることが可能です。

卓上型全反射蛍光X線分析装置

元素分析を高感度で行うことができる卓上型の全反射蛍光X線分析装置

 

高強度・高感度測定

全自動光軸調整システムや600Wの高出力X線源とミラー、大面積SSDにより、高強度・高感度測定を可能にしました。Cdの検出下限は2ppb。液中のAsやSeの場合、0.8ppb以下の検出限界を実現しています。

複数の励起条件を選択可能

標準励起条件(Moターゲット)ではAs、Pbなどの有害元素を効率良く励起できます。
2重構造多層膜により高エネルギー励起条件(約30 keV)も使用でき、スペクトルの重なりの少ないCd、AgなどのK線領域を測定線に用いることが可能となりました。

入射角度可変機構により角度分解測定を実現

入射角度を任意に変更する機構により、表面近傍のみならず、深さ方向の元素情報を得ることが可能となりました。

TXRF

 

薄膜の深さプロファイリングのためのGI-XRF

固体表面の分析の分野では、表面よりわずかに深く浸透する分析が(主に薄膜および厚膜の分野で)要求されている。 この種の分析のために、斜入射X線蛍光(GI − XRF)と呼ばれる方法論が採用され、それによって表面下の元素はX線源の入射角を変えることによって励起される。 NANOHUNTER II TXRF分光計は入射角が可変であるため、深さプロファイルの表面分析を実行することが可能です。 GI − XRF技術はナノスケール研究に適用可能である。

諸元/仕様

製品名 NANOHUNTER II
手法 全反射蛍光X線(TXRF)
用途 液体や固体表面の高感度超微量元素分析
テクノロジー  XRFとGI-XRF
主要コンポーネント 600 W X線源、大面積検出器(SDD)
オプション N₂ またはHeの環境
制御(PC) 外部PC
本体寸法 697 (W) x 691 (H) x 597 (D) (mm)
質量 100 kg(本体)
電源要件 単相 100-240 V, 15 A