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ZSX Primus400

 

大径試料(φ400mm×50mm)をそのまま測定できるほか、質量30 kgまでのサンプルを受け入れ、スパッタリングターゲット、磁気ディスクの分析、多層フィルムの計測、または大型サンプルの元素分析に最適です。多彩なアダプターにより、様々な形状の試料や、多試料の測定にも対応できる蛍光X線分析装置です。
ZSX Primusシリーズで定評あるソフトウェア「ZSX Guidance」の搭載により、優れた操作性・メンテナンス性を実現。ヒューマンエラー防止機能を備え、分析初心者でも正確な分析結果を得られるようサポートします。
内蔵する高解像度カメラで試料の画像を観察しながら測定位置指定し、ポイント・マッピング測定を行うことも可能です。軽元素・超軽元素も測定対象とした高精度なマッピング測定への要求に応えます。

走査型蛍光X線分析装置

多彩なアダプターにより、様々な形状の試料や、多試料の測定にも対応できる蛍光X線分析装置

 

大径試料、異型試料、多試料に対応する多彩な試料アダプター

最大φ400mm×50mmの試料をそのまま測定できます。貴重な試料を小さく加工する必要はありません。多数の試料を同時にセットできる試料アダプターや、異形試料に対応できる試料アダプターも用意しています。

測定可能元素 Be~U

独自の真空度制御機構APC(Auto Pressure Control)により、測定部の真空度を安定化し、超軽元素を含む軽元素を高精度に測定することができます。

波長分散型システムによるポイント・マッピング分析

r-θ駆動の試料ステージを採用。内蔵の高精度カメラ(500万画素)で分析部位を確認しながら、波長分散方式の優れたスペクトル分解能を生かし、超軽元素まで100マイクロメートルのマッピング位置分解能による正確なポイント・マッピング測定が可能です。

ZSX Guidanceソフトウェア

ビジュアルな画面を使って高度な分析を実行できる、初心者にも優しいソフトウェアです。定量アプリケーションの作成をサポートする評価プログラムなど蛍光X線分析技術に関するノウハウが各所に組み込まれています。

ヒューマンエラー防止

ZSX Gudanceには、オペレーターごとにソフトウェアへのアクセスレベルを設定できるヒューマンエラー防止機能があり、だれもが扱いやすい操作画面を利用しながら測定をすることができます。

光学系の保護

ZSX Primus 400は、X線管から検出器までの光学系が測定する試料の下側に配置される、下面照射型の蛍光X線分析装置です。測定中に万一試料が落下しても光学系がダメージを受けないよう、試料とX線管の間にX線管を保護するベリリウムフィルターを、試料とコリメーターの間に保護フィルムを配置しています。

仕様

製品名 ZSX Primus 400
手法 波長分散蛍光X線分析(WDXRF)
用途 固体、粉末、合金および薄膜の元素分析
テクノロジー 走査型  波長分散蛍光X線分析(WDXRF)
主要コンポーネント 3 / 4 kW密閉型X線管、r-θステージ
オプション 追加分析用クリスタル、各種サンプルホルダー、カメラ
制御(PC) 外部PC、MS Windows® OS、ZSX Guidanceソフトウェア
本体寸法 1376 (W) x 1439 (H) x 890 (D) mm
重量 約 800 kg(本体)
電源 三相 200 VAC 50/60 Hz, 8 kW