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水晶・単結晶方位測定

水晶・Si・Ge・GaAs・LN・LT・サファイヤなど、さまざまな単結晶材料の加工や品質管理ニーズに応えます。

FSAS III

自動X線単結晶方位測定装置 FSAS III

単結晶材料の切り出し方位を、ワイヤソーその他の切断機に正確に伝えます

FSAS II

自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II

ウェーハの主面の切断角度、OF・ノッチ位置を自動で測定する装置

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