マトリックス中のあらゆる元素を測定
蛍光Ｘ線分析（XRF）は、元素組成を決定するうえで最も簡単、正確、かつ最も経済的な分析方法のひとつです。
リガクの波長分散型蛍光Ｘ線装置は、セメントからプラスチック、金属、食品、半導体ウェーハまで幅広い製品の研究開発と品質保証(QA)管理に日常的に使用されています。 リガクの蛍光Ｘ線装置は、最も要求の厳しい用途向けの高性能波長分散型システムから、デスクトップ型波長分散型システムのほか携帯型エネルギー分散型蛍光Ｘ線製品まで幅広く取り揃えています。
蛍光X線分析の理論
蛍光Ｘ線分析（XRF）では、十分なエネルギーの光波（光子）を吸収することによって電子がその原子軌道から放出されることがあります。 光子のエネルギー（hν）は、電子が原子核に結合するのに必要なエネルギーより大きくなければなりません。 内部軌道電子が原子から放出されると（中央の画像）、より高いエネルギー準位の軌道からの電子がより低いエネルギー準位のこの軌道に移動します。 この遷移中に、光子が原子から放出されることがあります（下の画像）。 この蛍光は元素の特性X線と呼ばれます。 放出された光子のエネルギーは、遷移を起こしている電子によって占められている2つの軌道の間のエネルギーの差に等しくなります。 ある元素において、２つの特定の軌道殻の間のエネルギー差は常に等しい（すなわち、特定の元素の特性）ので、電子がこれら２つの準位間を移動するときに放出される光子は常に同じエネルギーを持っています。 したがって、特定の元素によって放出されたＸ線（光子）のエネルギー（波長）を決定することによって、その元素の同一性を決定することが可能となります。
リガクの関連装置
ハイブリッドXRFおよび光計測FABツール
300mm、200mmウェーハ上の各種薄膜の膜厚・組成を、同時に非破壊、非接触で分析可能なエネルギー分散型蛍光X線分析装置(ED-XRF)
Niton 携帯型成分分析計 XL2/XL3t/XL5シリーズ（合金・純金属用）
微量元素・軽元素対応機種がさらに高感度化され、驚異的なスピードで元素の定量・合金種判定が可能
Niton 携帯型成分分析計 XL2/XL3t/XL5シリーズ（鉱物・土壌・各種素材用）
微量元素・軽元素対応機種がさらに高感度化、目的元素を短時間で定量測定
