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蛍光X線分析

蛍光X線分析

マトリックス中のあらゆる元素を測定

X-ray fluorescence schematic蛍光X線分析(XRF)は、元素組成を決定するうえで最も簡単、正確、かつ最も経済的な分析方法のひとつです。

リガクの波長分散型蛍光X線装置は、セメントからプラスチック、金属、食品、半導体ウェーハまで幅広い製品の研究開発と品質保証(QA)管理に日常的に使用されています。 リガクの蛍光X線装置は、最も要求の厳しい用途向けの高性能波長分散型システムから、デスクトップ型波長分散型システムのほか携帯型エネルギー分散型蛍光X線製品まで幅広く取り揃えています。

蛍光X線分析の理論

蛍光X線分析(XRF)では、十分なエネルギーの光波(光子)を吸収することによって電子がその原子軌道から放出されることがあります。 光子のエネルギー(hν)は、電子が原子核に結合するのに必要なエネルギーより大きくなければなりません。 内部軌道電子が原子から放出されると(中央の画像)、より高いエネルギー準位の軌道からの電子がより低いエネルギー準位のこの軌道に移動します。 この遷移中に、光子が原子から放出されることがあります(下の画像)。 この蛍光は元素の特性X線と呼ばれます。 放出された光子のエネルギーは、遷移を起こしている電子によって占められている2つの軌道の間のエネルギーの差に等しくなります。 ある元素において、2つの特定の軌道殻の間のエネルギー差は常に等しい(すなわち、特定の元素の特性)ので、電子がこれら2つの準位間を移動するときに放出される光子は常に同じエネルギーを持っています。 したがって、特定の元素によって放出されたX線(光子)のエネルギー(波長)を決定することによって、その元素の同一性を決定することが可能となります。

リガクの関連装置

走査型蛍光X線分析装置 ZSX Primus III NEXT

「ZSX PrimusIII+」の後継製品。スループット、防塵性を向上。

次世代偏光光学系エネルギー分散型蛍光X線分析装置

更に進化した元素分析ツール

波長分散小型蛍光X線分析装置 Supermini200

高出力200Wで広範囲なアプリケーションに対応

走査型蛍光X線分析装置 ZSX Primus IV

(Be)から(Cm)までの主要元素および微量元素の迅速な定量。

走査型蛍光X線分析装置 ZSX Primus IVi

下面照射方式の走査型蛍光X線分析装置

多元素同時蛍光X線分析装置 Simultix 15

高精度分析が可能な多元素同時型の蛍光X線分析装置。

走査型蛍光X線分析装置 ZSX Primus 400

大径試料(φ400mm×50mm)をそのまま、多試料にも対応。

蛍光X線硫黄分分析計 Micro-Z ULS

ディーゼル、ガソリン、その他超低レベル硫黄分析用に設計。

エネルギー分散型蛍光X線分析装置 NEX QC

NaからUまで定量分析(検量線法)ができます。

波長分散型蛍光X線塩素分分析計
Micro-Z CL

石油製品中の塩素の高感度分析ができる卓上波長分散型蛍光X線分析装置

エネルギー分散型蛍光X線分析装置 NEX QC+ QuantEZ

半定量分析等,高機能ソフトウェアを搭載したPCモデル.。
 

エネルギー分散型蛍光X線分析装置 NEX DE

ppmオーダーから主成分の元素分析が行えます。

薄膜評価用蛍光X線分析装置 AZX 400

波長分散型蛍光X線分析(WDX)装置の最上位モデル。

ハイブリッドXRFおよび光計測FABツール

300mm、200mmウェーハ上の各種薄膜の膜厚・組成を、同時に非破壊、非接触で分析可能なエネルギー分散型蛍光X線分析装置(ED-XRF)

薄膜評価用蛍光X線分析装置 WDA-3650

薄膜の膜厚と組成を、同時に、非破壊、非接触で分析。

薄膜評価用蛍光X線分析装置 WaferX 310

300mm、200mmウェーハ上の膜厚・組成を、同時に分析。

X線膜厚・密度測定装置 XHEMIS EX-2000

蛍光X線(XRF)およびX線反射率(XRR)による非接触、非破壊な膜厚・密度測定装置。標準試料なしで膜厚測定が可能

各種金属めっきやコーティング皮膜の付着量 ・厚みを計測することができます。

大型ガラス基板上のコーティング皮膜やインライン生産中の測定対象を非破壊計測できるヘッドを提供します。

懸濁液も測定可能なオーバーフロー型容器を搭載した、蛍光X線方式による液中の元素濃度を計測できるシステムです。

Niton 携帯型成分分析計 XL2/XL3t/XL5シリーズ(合金・純金属用)

微量元素・軽元素対応機種がさらに高感度化され、驚異的なスピードで元素の定量・合金種判定が可能

Niton 携帯型成分分析計 XL2/XL3t/XL5シリーズ(鉱物・土壌・各種素材用)

微量元素・軽元素対応機種がさらに高感度化、目的元素を短時間で定量測定

Niton 携帯型成分分析計 XL2/XL3t/XL5シリーズ(RoHS/ハロゲン規制用)

規制値よりもはるかに低いレベルの有害元素まで迅速定量可能