ほぼあらゆるマトリックスの中におけるほぼあらゆる元素を測定
蛍光Ｘ線分析（XRF）は、多くの種類の材料の元素組成を決定するための最も簡単、最も正確、かつ最も経済的な分析方法のひとつです。 研究開発と品質保証（QA）の両方の機能に欠かせない、当社の最先端かつ独自のWDXRF製品は、セメントからプラスチック、金属から食品、半導体ウェーハまでの製品の分析に日常的に使用されています。 リガクのラインナップは、最も要求の厳しい用途向けのハイパワー、高性能波長分散型WDXRFシステムから、デスクトップ型のEDXRFおよびWDXRFシステムまで幅広く取り揃えています。
蛍光X線分析の理論
蛍光Ｘ線分析（XRF）では、十分なエネルギーの光波（光子）を吸収することによって電子がその原子軌道から放出されることがあります。 光子のエネルギー（hν）は、電子が原子核に結合するのに必要なエネルギーより大きくなければなりません。 内部軌道電子が原子から放出されると（中央の画像）、より高いエネルギー準位の軌道からの電子がより低いエネルギー準位のこの軌道に移動します。 この遷移中に、光子が原子から放出されることがあります（下の画像）。 この蛍光は元素の特性X線と呼ばれます。 放出された光子のエネルギーは、遷移を起こしている電子によって占められている2つの軌道の間のエネルギーの差に等しくなります。 ある元素において、２つの特定の軌道殻の間のエネルギー差は常に等しい（すなわち、特定の元素の特性）ので、電子がこれら２つの準位間を移動するときに放出される光子は常に同じエネルギーを持っています。 したがって、特定の元素によって放出されたＸ線（光子）のエネルギー（波長）を決定することによって、その元素の同一性を決定することが可能となります。
リガクの関連装置
Hybrid XRF and Optical metrology FAB tool Onyx
XRF and optical metrology tool for blanket and patterned wafers; up to 300 mm wafers
Niton 携帯型成分分析計 XL2/XL3t/XL5シリーズ（合金・純金属用）
微量元素・軽元素対応機種がさらに高感度化され、驚異的なスピードで元素の定量・合金種判定が可能
Niton 携帯型成分分析計 XL2/XL3t/XL5シリーズ（鉱物・土壌・各種素材用）
微量元素・軽元素対応機種がさらに高感度化、目的元素を短時間で定量測定
アプリケーション・ノート
この手法では、次のアクセサリを利用できます