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蛍光X線分析(XRF)

蛍光X線分析(XRF)

ほぼあらゆるマトリックスの中におけるほぼあらゆる元素を測定

X-ray fluorescence schematic蛍光X線分析(XRF)は、多くの種類の材料の元素組成を決定するための最も簡単、最も正確、かつ最も経済的な分析方法のひとつです。 研究開発と品質保証(QA)の両方の機能に欠かせない、当社の最先端かつ独自のWDXRF製品は、セメントからプラスチック、金属から食品、半導体ウェーハまでの製品の分析に日常的に使用されています。 リガクのラインナップは、最も要求の厳しい用途向けのハイパワー、高性能波長分散型WDXRFシステムから、デスクトップ型のEDXRFおよびWDXRFシステムまで幅広く取り揃えています。

蛍光X線分析の理論
蛍光X線分析(XRF)では、十分なエネルギーの光波(光子)を吸収することによって電子がその原子軌道から放出されることがあります。 光子のエネルギー(hν)は、電子が原子核に結合するのに必要なエネルギーより大きくなければなりません。 内部軌道電子が原子から放出されると(中央の画像)、より高いエネルギー準位の軌道からの電子がより低いエネルギー準位のこの軌道に移動します。 この遷移中に、光子が原子から放出されることがあります(下の画像)。 この蛍光は元素の特性X線と呼ばれます。 放出された光子のエネルギーは、遷移を起こしている電子によって占められている2つの軌道の間のエネルギーの差に等しくなります。 ある元素において、2つの特定の軌道殻の間のエネルギー差は常に等しい(すなわち、特定の元素の特性)ので、電子がこれら2つの準位間を移動するときに放出される光子は常に同じエネルギーを持っています。 したがって、特定の元素によって放出されたX線(光子)のエネルギー(波長)を決定することによって、その元素の同一性を決定することが可能となります。

リガクの関連装置

走査型蛍光X線分析装置 ZSX Primus IV

(Be)から(U)までの主要元素および微量元素の迅速な定量。

走査型蛍光X線分析装置 ZSX Primus IVi

下面照射タイプの走査型蛍光X線分析装置

走査型蛍光X線分析装置 ZSX Primus III+

上面照射方式で粉末試料も安心、生産管理分析に威力を発揮。

エネルギー分散型蛍光X線分析装置 NEX CG

環境分析や産業廃棄物、リサイクル原料等の広範囲に対応。

波長分散小型蛍光X線分析装置 Supermini200

高出力200Wで広範囲なアプリケーションに対応

多元素同時蛍光X線分析装置 Simultix 15

高精度分析が可能な多元素同時型の蛍光X線分析装置。

走査型蛍光X線分析装置 ZSX Primus 400

大径試料(φ400mm×50mm)をそのまま、多試料にも対応。

エネルギー分散型蛍光X線分析装置 NEX DE

ppmオーダーから主成分の元素分析が行えます。

卓上波長分散蛍光X線分析計 Mini-Zシリーズ

特定の単一元素の分析用WDXRF分析装置。

エネルギー分散型蛍光X線分析装置 NEX QC+ QuantEZ

半定量分析等,高機能ソフトウェアを搭載したPCモデル.。
 

エネルギー分散型蛍光X線分析装置 NEX QC

NaからUまで定量分析(検量線法)ができます。

蛍光X線硫黄分分析計 Micro-Z ULS

ディーゼル、ガソリン、その他超低レベル硫黄分析用に設計。

薄膜評価用蛍光X線分析装置 AZX 400

波長分散型蛍光X線分析(WDX)装置の最上位モデル。

Hybrid XRF and Optical metrology FAB tool Onyx

XRF and optical metrology tool for blanket and patterned wafers; up to 300 mm wafers

薄膜評価用蛍光X線分析装置 WDA-3650

薄膜の膜厚と組成を、同時に、非破壊、非接触で分析。

薄膜評価用蛍光X線分析装置 WaferX 310

300mm、200mmウェーハ上の膜厚・組成を、同時に分析。

X線膜厚・密度測定装置 XHEMIS EX-2000

蛍光X線(XRF)およびX線反射率(XRR)による非接触、非破壊な膜厚・密度測定装置。標準試料なしで膜厚測定が可能

Niton 携帯型成分分析計 XL2/XL3t/XL5シリーズ(合金・純金属用)

微量元素・軽元素対応機種がさらに高感度化され、驚異的なスピードで元素の定量・合金種判定が可能

Niton 携帯型成分分析計 XL2/XL3t/XL5シリーズ(鉱物・土壌・各種素材用)

微量元素・軽元素対応機種がさらに高感度化、目的元素を短時間で定量測定

Niton 携帯型成分分析計 XL2/XL3t/XL5シリーズ(RoHS/ハロゲン規制用)

規制値よりもはるかに低いレベルの有害元素まで迅速定量可能

アプリケーション・ノート

この手法では、次のアクセサリを利用できます


EDXRF

WDXRF

Total reflection XRF (TXRF)