薄膜評価セミナー『 薄膜、単結晶基板の結晶性評価　～ Ｘ線ロッキングカーブ測定のポイント ～ 』

Ｘ線ロッキングカーブによる結晶性評価を正確に行うための要点をご紹介します。
適切な反射指数や光学系の選択方法、結晶方位合わせの手順など、実際に測定を行う上での注意点についてご説明します。