リガク - Fraunhofer IISBジョイントセミナー 『 XRTmicronによるトポグラフィ測定 』

概要：X線トポグラフイメージングステム、XRTmicronを使用したトポグラフィ測定についてご紹介いたします。本セミナーではX線トポグラフィの基本原理から、最新装置によるSiC基板中の基底面転移分布の高速測定、半導体材料として用いられる様々な単結晶基板の欠陥評価など、測定事例を交えながらお話をいたします。またドイツFraunhofer IISBとの連携開発拠点、Center of Expertiseについてもご紹介をさせていただきます。