薄膜分析セミナー 『 Ｘ線を用いた膜厚評価と測定事例のご紹介 』

概要：
薄膜材料の評価において、膜厚は最も評価されるパラメーターの一つです。Ｘ線を用いた測定では、反射(XRR)、回折(XRD)、蛍光(XRF)などの試料との相互作用により評価手法が異なります。
本セミナーでは膜厚評価を中心にそれぞれの手法の特徴について測定事例を交えながらご紹介いたします。

■Ｘ線回折（XRD）、反射率（XRR）
タイトル：『Ｘ線回折およびＸ線反射率法による薄膜試料の膜構造評価』
内容：高分解能ロッキングカーブ測定およびＸ線反射率法を用いた膜構造評価の特徴および測定時の要点をご説明します。また、マッピング測定事例もご紹介します。

■蛍光X線（XRF）
タイトル：『波長分散型蛍光Ｘ線分析法（WDXRF）による薄膜分析法』
内容：蛍光Ｘ線分析による付着量・膜厚分析の原理やZSX Guidanceソフトウェアによるレシピ作成のテクニックについてご紹介します。