測角範囲 | 2θ/θ=5°~158° |
測定光学系 | 反射法 |
X線窓材質、厚み | 金属ベリリウム、0.2mm |
使用温度範囲 | 室温~1,000℃ |
試料雰囲気 | 大気中、真空中(1Pa以下)、不活性ガス中 |
測温用熱電対 | K型熱電対(chromel – alumel)(インコネルシース、測温用と共用) |
温度安定度 | ±2℃以内 |
試料加熱方式 | 赤外加熱方式 |
昇温レート | 1~300℃/min |
試料観察窓 | 試料観察窓付 |
試料室 | 試料部ケース分離機構付、グローブボックス対応 |
冷却速度 | 1,000℃→100℃ 6分以内 |