シームレス多次元ピクセル検出器　XSPA-400 ER

シームレス多次元ピクセル検出器XSPA-400 ER*（XSPA: X-ray Seamless Pixel Array, ER : Energy Resolution）は，従来よりもエネルギー分解能を高めた次世代の2 次元半導体検出器です．その高いエネルギー分解能によって試料由来の蛍光X 線の影響を低減し，低バックグラウンド（BG）の回折パターンを取得することが可能となります．また検出面全体に65,536 個のピクセルが配列されており，0 次元・1 次元パターン測定に加えて，2 次元パターン測定を用いることでデバイ- シェラー環を観測することができ，試料の配向状態や粗大粒子の影響を確認することができます．更にピクセルサイズは75μm×75μm のため，高い空間分解能を実現しています．これらの特長を活かすことにより，鉄鋼材料や電池材料のような遷移金属元素を有するBG が高い試料に対して，微量結晶相の定量分析・格子定数の精密解析・2 次元応力解析等の分析精度向上に貢献できます．