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XSPA-400 ER
  • エネルギー分解能が高いため、低バックグラウンド測定が可能となり、
    鉄鋼材料、リチウムイオン電池用の正極材など遷移金属が含まれる材料に真価を発揮
  • 多次元ピクセル検出器のため、0、1、2次元測定が可能
  • 高い直線計数性と広いダイナミックレンジにより、単結晶基板のような高強度を示す試料も測定可能
  • Kβフィルターレス測定も選択可能
  • 強度優先モード/角度分解能優先モードを検出器配置により簡易に選択可能

シームレス多次元ピクセル検出器

0、1、2次元測定可能なピクセル検出器でありながら、
高いエネルギー分解能を実現

高いエネルギー分解能

一般的にCu線源を用いたX線回折測定では、鉄鋼材料や電池材料に含まれる遷移金属元素の影響により、プロファイル中のバックグラウンドが高く観測され、微量結晶相ピークの検出が困難になります。本検出器は、高いエネルギー分解能によって試料由来の蛍光X線をカットし、バックグラウンド成分を低減させます。そのため、従来機よりも高感度な測定を実現しています。

シームレス多次元ピクセル検出器

0、1、2次元に対応しているため、一般的なX線回折パターンの取得からデバイシェラーリングの形状測定まで実施可能です。またシームレス検出器は、すべてのピクセル形状が同一であるため、IC境界補正が不要となり、一様な画像が取得できます。

高い直線係数性と広いダイナミックレンジ

高エネルギー分解能を維持したまま、低強度から高強度まで観測が可能です。

Kβフィルターレス測定も可能

高エネルギー分解能の特長を生かしKβフィルターレスの測定も可能です。

検出面積を活用した高いユーティリティー

検出器の配置を1つの台座で切り替えでき、強度優先・角度分解能優先のモードを選択することが可能です。

諸元/仕様

製品名 XSPA-400 ER
手法 X線回折
エネルギー分解能
(CuKα)
340 eV (蛍光X線低減モード使用時)
ピクセル数 65,536 pixels
ピクセルサイズ 75 μm × 75 μm
計数率 >1 x 105 cps/pixel
検出面積 38.4 x 9.6 = 368.64 mm2