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FSAS III

Si、Ge、GaAs、SiC、水晶、LN、LT、サファイヤ、ルチル、蛍石他、さまざまな単結晶材料の切り出し方位を、ワイヤソーその他の切断機に正確に伝えます。切り出し後の方位測定も、測定者を問わず正確に行えます。

自動X線単結晶方位測定装置 FSAS III

単結晶材料の切り出し方位を、ワイヤソーその他の切断機に正確に伝えます

 

  • さまざまな単結晶材料の切断方位の決定が、誰でも容易に自動的に行えます。(試料形状や切断方法、ご予定の切断機によっては、お打合せにより、試料ホルダの仕様を別途決めさせていただく場合があります。)
  • インゴット形状試料、ウェーハ形状試料の切断角度の測定が自動で行えます。
  • 測定条件等を、あらかじめタッチパネル式PCに入力しておき、あとは「測定開始」をクリックするだけです。測定結果は同PCに表示されると共に、付属の小型プリンタに出力されます。
  • X線測定および光学系セッティングの自動化により、測定結果の信頼度が向上しています。
  • 安全面を考慮した設計となっています。測定開始と共に試料挿入扉はロックされ、X線は測定開始時に自動発生し、測定終了後自動停止します。
  • 本装置は、装置内がX線管理区域となり、かつX線発生中に装置内に作業者の体が入らないため、X線作業主任者を選任する必要がありません。