FP 法で求めた結晶子サイズの妥当性の検証

結晶子とは、X線回折に寄与する最小単位で、結晶粒の中で単結晶して見なせるドメインと定義されています。工業製品などで、化学的性質や物性が結晶子サイズと相関があることが知られており、結晶子サイズを正確に計測することは非常に重要です。X線回折プロファイルから結晶子サイズを求める方法としては、Scherrer法・Williamson-Hall法・FP（Fundamental Parameter）法などがあります。中でもFP法は、使用した光学系の情報から回折ピークの幅を補正することができるので、正確度の高い結晶子サイズとその分布を算出することが可能となります。本例では、FP法での結晶子サイズ算出と他手法との比較を行い、値の妥当性を検証しました。