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ロッキングカーブ測定による単結晶基板の結晶方位の面内均一性評価

AppNote XRD2027: ロッキングカーブ測定による単結晶基板の結晶方位の面内均一性評価

 

薄膜材料の特性は単結晶基板や下地層の格子欠陥、配向性分布などの影響を受けるため、高性能な薄膜デバイスの開発においては、単結晶基板や下地層の面内均一性の評価も重要になります。ロッキングカーブ測定のXYマッピングでは、単結晶基板や下地層の結晶状態の面内均一性を、視覚的かつ定量的に評価することができます。

リガクのX線回折装置(XRD)

全自動多目的X線回折装置 SmartLab

装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現。

全自動多目的X線回折装置 SmartLab SE

リガクの分析ノウハウを凝縮した「ガイダンス」機能を搭載。

デスクトップX線回折装置 MiniFlex

卓上タイプの高性能多目的粉末回折分析装置。

試料水平型多目的X線回折装置 Ultima IV

あらゆる用途のための高性能、多目的XRDシステム。