ウェーハ上の各種薄膜について、蛍光Ｘ線(XRF)およびＸ線反射率(XRR)による非接触、非破壊な膜厚・密度測定装置です。XRRとXRFを組み合わせることで、標準試料なしで広範囲の膜厚測定が可能となります。新光学系とノイズ信号処理（特許方式）により、高スループット、高ダイナミックレンジなXRR測定を実現し、幅広い膜種に対応します。自動搬送ロボット、AutoCal(全自動装置管理機能)に対応しているだけでなく、簡易解析ソフトなどユーザーフレンドリーなソフトウェアを搭載しており、研究開発から品質管理まで様々な用途で利用いただけます。