XHEMIS EX-2000
ウェーハ上の各種薄膜について、蛍光X線(XRF)およびX線反射率(XRR)による非接触、非破壊な膜厚・密度測定装置です。XRRとXRFを組み合わせることで、標準試料なしで広範囲の膜厚測定が可能となります。新光学系とノイズ信号処理(特許方式)により、高スループット、高ダイナミックレンジなXRR測定を実現し、幅広い膜種に対応します。自動搬送ロボット、AutoCal(全自動装置管理機能)に対応しているだけでなく、簡易解析ソフトなどユーザーフレンドリーなソフトウェアを搭載しており、研究開発から品質管理まで様々な用途で利用いただけます。