TA-5001: インジウムアセチルアセトナートの加熱変化
酸化インジウム (In₂O₃) は透明導電膜の材料として広く用いられています。代表的な製法はゾルゲル法、CVD 法、PVD 法などですが、これらの製法中には必ず原料からの加熱プロセスが含まれます。そのため、原料の熱特性を正確に捕らえておくことが、トータルプロセスの効率化にとって大変重要な要素となります。水蒸気発生装置を接続したTG-DTA によって、雰囲気中の水蒸気分圧の変化が原料サンプルの加熱プロセスに与える影響について詳細に調べることができます。