TA-5009: 酸化亜鉛ZnOの低温合成 -水蒸気雰囲気中での亜鉛アセチルアセトナートの熱分解-
金属有機酸塩を前駆体とした高濃度水蒸気雰囲気中での加熱プロセスを用いることにより、金属酸化物を低温で生成させることができます。透明導電材料や発光素子として大きな注目を集めているZnO の低温合成挙動および湿度の影響を湿度制御熱分析法により詳細に解析しました。この結果、乾燥雰囲気に比べ、水蒸気雰囲気の場合には水蒸気濃度の増加に伴って反応プロセスが大きく変化し、100℃程度でも結晶性ZnO を合成可能なことが判明しました。